佳能發(fā)售新一代i線步進式光刻機：提升巨大
來源：中關(guān)村在線 2023-03-13 19:05:04
(資料圖片)
今天，佳能正式官宣，發(fā)布了最新的i線步進式光刻機“FPA-5550iX”，該產(chǎn)品能夠同時實現(xiàn)0.5μm（微米）高解像力與50 x 50mm大視場曝光，該產(chǎn)品可用于全畫幅CMOS、頭戴顯示器等小型顯示設(shè)備的曝光工序、高對比度微型OLED顯示器制造等領(lǐng)域。
所謂i線也就是光源來自波長365nm的水銀燈，和EUV光刻機使用的13.5nm波長激光等離子體光源區(qū)別明顯。
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